
在精密制造领域,机械化学抛光(MCP)通过机械研磨与化学作用的协同,实现硬脆材料(如半导体材料、陶瓷、金属合金)表面的高精度、低损伤抛光,对设备的 “机 - 化” 协同控制、参数稳定性及耗材适配性有特定要求。北京艾姆希半导体科技有限公司依托在精密加工领域的技术积累,针对硬脆材料加工痛点研发的机械化学抛光机,为国内半导体、医疗器械、航空航天等行业提供适配的精密加工设备。
北京艾姆希机械化学抛光机针对不同材料的物理化学特性,优化 “机械研磨” 与 “化学作用” 的协同机制。设备配备独立的化学试剂恒温与配比系统,可精准控制试剂温度(误差 ±0.5℃)与成分浓度,确保化学作用稳定 —— 例如针对碳化硅半导体材料,通过调节试剂中氧化剂浓度,在材料表面形成易去除的氧化层,配合机械研磨实现低损伤去除;针对医疗器械用钛合金部件,通过优化缓蚀剂配比,减少化学腐蚀导致的表面缺陷,提升部件生物相容性。
机械研磨方面,设备搭载 “柔性微压系统”,可实现 0.1N-50N 范围内的精准压力调节,配合高精度压力反馈传感器,实时修正研磨压力:粗抛阶段采用 “中压力、中转速” 模式,通过机械研磨与化学作用的协同实现去料;精抛阶段切换为 “微压力、稳转速” 模式,逐步降低材料表面粗糙度,同时控制损伤层厚度在 5nm 以下,符合精密制造对表面质量的相关标准。
设备机身采用模块化设计,核心部件(如抛光头、化学试剂系统、冷却组件)可独立拆卸与维护,降低检修难度与时间成本。抛光垫采用特殊复合材质制成,兼具耐磨性与化学稳定性,延长使用寿命;设备兼容行业内主流品牌的化学试剂与抛光耗材,用户可根据加工需求与成本预算灵活选择,降低耗材更换的适配成本。
针对批量生产需求,设备支持自动化上下料对接,可与工件传输系统(机械臂、传送带)联动,实现从工件上料、抛光到下料的全流程自动化操作,减少人工干预导致的污染风险与操作误差,适配精密制造的高效生产场景。
北京艾姆希凭借对 “机 - 化” 协同工艺的理解与技术实践,其机械化学抛光机在适配性、稳定性与低损伤加工方面形成自身特色。未来,公司将继续关注精密制造领域需求,投入研发,优化设备性能,为多行业精密加工提供更契合的协同解决方案。



