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晶圆清洗机
化学湿法清洗设备
  • 适用于晶圆CMP后清洗
  • 全自动的高自动化形式(湿进干出)
  • 支持 6"、4"晶圆清洗
  • 配备自净功能
  • 内外环境隔离:干湿分离
  • 晶圆缺失检测报警系统
  • 旋干及热N₂ 吹干系统
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